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日:
2023年11月16日
16
11月 2023
News
【世界初】Phantom SVD(ファントム局所的気相成長)法で4インチウエハ上への二酸化ゲルマニウム(GeO2)製膜に成功
― 薄膜の大面積化実現に大きく前進― 立命館大学総合科学技術研究機構の金子健太郎 …
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